壓力傳感器在使用過程中會產(chǎn)生一些誤差,靈敏度誤差、偏移量誤差、滯后誤差和線性誤差。對于壓力傳感器產(chǎn)生的誤差對測試結(jié)果的影響,標定可消除或極大地減小壓力傳感器的這些誤差。
壓力傳感器標定的基本方法是利用標準設備產(chǎn)生已知的非電量(如標準力、位移、壓力等),作為輸入量輸入到待標定的壓力傳感器,然后將得到的壓力傳感器的輸出量與輸入的標準量作比較,從而得到一系列的標定數(shù)據(jù)或曲線。
標定壓力的選取非常重要,因其決定了獲取最佳精度的壓力范圍。實際上,經(jīng)過標定后實際的偏移量誤差在標定點處最小并一直保持較小的值。因此,標定點必須根據(jù)目標壓力范圍加以選擇,而壓力范圍可以不與工作范圍相一致。為了將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力值,由于實際的靈敏度往往是未知,因此在數(shù)學模型中通常采用典型靈敏度進行單點標定。
壓力傳感器的靜態(tài)標定主要用于檢驗、測試傳感器的靜態(tài)特性指標,如靜態(tài)靈敏度、非線性、滯后、重復性等。壓力傳感器的動態(tài)標定主要用于檢驗、測試傳感器的動態(tài)特性,如動態(tài)靈敏度、頻率響應和固有頻率等。對壓力傳感器進行動態(tài)標定,需要對它輸入一個標準激勵信號,常用的是周期函數(shù)中的正弦波以及瞬變函數(shù)中的階躍波。
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