在工業(yè)生產(chǎn)過程中,測量壓力的場合非常多見,壓力變送器?的種類與工作原理也是不盡相同的。不同工況下選擇使用不同的壓力變送器。今天我們要了解的是擴(kuò)散硅壓力變送器的相關(guān)特點(diǎn)。
擴(kuò)散硅壓力變送器的特點(diǎn):
第一:適合小量程工況要求
擴(kuò)散硅壓力變送器中的硅芯片,力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低量程段無死區(qū),制作壓力變送器的量程可小到幾個Kpa。
第二:靈敏度高
硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計高50~100倍,故相應(yīng)的變送器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
第三:精度高
變送器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實(shí)現(xiàn),沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
第四:工作壽命長
由于工作彈性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級,彈性芯片最大位移在亞微米數(shù)量級,因而磨損小,無疲勞,壽命長達(dá)1×103壓力循環(huán),性能穩(wěn)定,可靠性高。
第五:防腐能力強(qiáng)
由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能,即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器,也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。
第六:體積小,重量輕
擴(kuò)散硅壓力變送器的芯片采用集成工藝,又無傳動部件,因此體積小,重量輕。
擴(kuò)散硅壓力變送器是一種典型的壓力變送器類型,能實(shí)現(xiàn)對多種液體、氣體的表壓、負(fù)壓或絕壓測量。擴(kuò)散硅壓力變送器廣泛應(yīng)用于于石油、化工、鋼鐵、電力、輕工、環(huán)保等工業(yè)領(lǐng)域。
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