擴散硅壓力變送器?是在單晶硅片上擴散一個惠斯通電橋,當(dāng)被測介質(zhì)的壓力直接作用于變送器的擴散硅膜片上,使得變送器的膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移。正常工作狀態(tài)下,膜片最大位移不大于0.025毫米,這時擴散硅壓力變送器的橋壁電阻值發(fā)生變化,會產(chǎn)生一個差動電壓信號,這一信號經(jīng)過專用放大器,將量程相對應(yīng)的信號轉(zhuǎn)換輸出一個標(biāo)準(zhǔn)的模擬信號或數(shù)字信號。
硅的電阻率對壓力有較高的敏感度,現(xiàn)在普遍使用硅材料作壓力變送器,也就是擴散硅壓力變送器。擴散硅是制造壓力變送器的核心部件(OEM),被封裝在316L不銹鋼的材料之中,外加施壓通過不銹鋼膜片、內(nèi)部密封的硅油傳遞到敏感的芯片上,擴散硅敏感元件不直接接觸被測介質(zhì),形成壓力測量的全固態(tài)結(jié)構(gòu),使得擴散硅壓力變送器能夠應(yīng)用更多的工況場合。
擴散硅壓力變送器作為一種高性能的壓力測量產(chǎn)品,可以很方便地進(jìn)行放大處理,裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號輸出。擴散硅壓力變送器廣泛應(yīng)用于石油、化工、冶金、電力、航空、醫(yī)療設(shè)備、汽車等行業(yè)的過程控制。擴散硅壓力芯體外加氟橡膠O型圈進(jìn)行可靠密封。擴散硅壓力變送器具有結(jié)構(gòu)小巧、安裝方便,抗干擾強、精度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快、耐沖擊等特點。
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